Atomic fluorine anion storage emission material C12A7-F- and etching of Si and SiO2 by atomic fluorine anions

書誌事項

タイトル
Atomic fluorine anion storage emission material C12A7-F- and etching of Si and SiO2 by atomic fluorine anions
著者
Song, Chongfu

収録刊行物

関連プロジェクト

もっと見る

詳細情報

  • CRID
    1010000781800329857
  • 資料種別
    journal article
  • データソース種別
    • KAKEN

問題の指摘

ページトップへ