Carbon Effect on Strain Compensation in Si_<1-x-y>Ge_xC_y Films Epitaxially Grown on Si(100)

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タイトル
Carbon Effect on Strain Compensation in Si_<1-x-y>Ge_xC_y Films Epitaxially Grown on Si(100)
著者
H.Nitta et al.

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1010000781801414805
  • 資料種別
    journal article
  • データソース種別
    • KAKEN

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