T字状フィルタードアーク蒸着におけるDLC膜成膜速度の向上

Bibliographic Information

Title
T字状フィルタードアーク蒸着におけるDLC膜成膜速度の向上
Author
Y.Iwasaki

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Details

  • CRID
    1010000781805413255
  • Article Type
    journal article
  • Data Source
    • KAKEN

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