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T字状フィルタードアーク蒸着におけるDLC膜成膜速度の向上
Bibliographic Information
- Title
- T字状フィルタードアーク蒸着におけるDLC膜成膜速度の向上
- Author
- Y.Iwasaki
Journal
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- プラズマ応用と複合機能材料 14
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プラズマ応用と複合機能材料 14 71-74, 2005
- Tweet
Details 詳細情報について
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- CRID
- 1010000781805413255
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- Article Type
- journal article
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- Data Source
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- KAKEN