T字状フィルタードアーク蒸着におけるDLC膜成膜速度の向上
書誌事項
- タイトル
- T字状フィルタードアーク蒸着におけるDLC膜成膜速度の向上
- 著者
- Y.Iwasaki
収録刊行物
-
- プラズマ応用と複合機能材料 14
-
プラズマ応用と複合機能材料 14 71-74, 2005
- Tweet
詳細情報
-
- CRID
- 1010000781805413255
-
- 資料種別
- journal article
-
- データソース種別
-
- KAKEN