T字状フィルタードアーク蒸着におけるDLC膜成膜速度の向上

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タイトル
T字状フィルタードアーク蒸着におけるDLC膜成膜速度の向上
著者
Y.Iwasaki

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詳細情報

  • CRID
    1010000781805413255
  • 資料種別
    journal article
  • データソース種別
    • KAKEN

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