A Numerical Technique for the Analysis of MEMS Structures using the Coupling of Electromagnetic and Mechanical Equations

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タイトル
A Numerical Technique for the Analysis of MEMS Structures using the Coupling of Electromagnetic and Mechanical Equations
著者
Kohei Kawano, Noriyuki Miura, Michiko Kuroda, Manos M.Tentzeris

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1010000781812947468
  • 資料種別
    journal article
  • データソース種別
    • KAKEN

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