Design and fabrication of RESURF MOSFETs on 4H-SiC(0001), (11-20), and 6H-SiC(0001)

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タイトル
Design and fabrication of RESURF MOSFETs on 4H-SiC(0001), (11-20), and 6H-SiC(0001)
著者
T.Kimoto他

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詳細情報

  • CRID
    1010000781874864024
  • 資料種別
    journal article
  • データソース種別
    • KAKEN

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