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アルミ磁気ディスク基板の超高圧力・超高速度ポリシングにおけるポリシャ寿命の検討(第1報)- -層ナップ構造ポリシャの場合 -

  • YASUI Heiji
    Kumamoto University, Graduate School of Science and Technology, Professor

Bibliographic Information

Title
アルミ磁気ディスク基板の超高圧力・超高速度ポリシングにおけるポリシャ寿命の検討(第1報)- -層ナップ構造ポリシャの場合 -
Author
安井平司, 山口寛太, 松川誠治, 山崎穣

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Details

  • CRID
    1010000781933403908
  • Article Type
    journal article
  • Data Source
    • KAKEN

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