アルミ磁気ディスク基板の超高圧力・超高速度ポリシングにおけるポリシャ寿命の検討(第1報)- -層ナップ構造ポリシャの場合 -
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- 安井 平司
- 熊本大学
書誌事項
- タイトル
- アルミ磁気ディスク基板の超高圧力・超高速度ポリシングにおけるポリシャ寿命の検討(第1報)- -層ナップ構造ポリシャの場合 -
- 著者
- 安井平司, 山口寛太, 松川誠治, 山崎穣
収録刊行物
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- 精密工学会誌 Vol. 73・No. 1
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精密工学会誌 Vol. 73・No. 1 107-111, 2007
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詳細情報
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- CRID
- 1010000781933403908
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- 資料種別
- journal article
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- データソース種別
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- KAKEN