アルミ磁気ディスク基板の超高圧力・超高速度ポリシングにおけるポリシャ寿命の検討(第1報)- -層ナップ構造ポリシャの場合 -

書誌事項

タイトル
アルミ磁気ディスク基板の超高圧力・超高速度ポリシングにおけるポリシャ寿命の検討(第1報)- -層ナップ構造ポリシャの場合 -
著者
安井平司, 山口寛太, 松川誠治, 山崎穣

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詳細情報

  • CRID
    1010000781933403908
  • 資料種別
    journal article
  • データソース種別
    • KAKEN

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