アルミ磁気ディスク基板の超高圧力・超高速度ポリシングにおけるポリシャ寿命の検討(第1報)- -層ナップ構造ポリシャの場合 -
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- YASUI Heiji
- Kumamoto University, Graduate School of Science and Technology, Professor
Bibliographic Information
- Title
- アルミ磁気ディスク基板の超高圧力・超高速度ポリシングにおけるポリシャ寿命の検討(第1報)- -層ナップ構造ポリシャの場合 -
- Author
- 安井平司, 山口寛太, 松川誠治, 山崎穣
Journal
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- 精密工学会誌 Vol. 73・No. 1
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精密工学会誌 Vol. 73・No. 1 107-111, 2007
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1010000781933403908
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- Article Type
- journal article
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- Data Source
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- KAKEN