イオンミキシング蒸着法によるBN薄膜の作製と特性評価(続報)
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- HANAKI Satoshi
- University of Hyogo
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- YAMASHITA Masato
- University of Hyogo
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- UCHIDA Hitoshi
- University of Hyogo
Bibliographic Information
- Title
- イオンミキシング蒸着法によるBN薄膜の作製と特性評価(続報)
- Author
- 栗原朗優, 花木 聡, 山下正人, 内田 仁
Journal
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- 第14回プラズマ応用科学会研究講演会プロシーディング Vol.16 March
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第14回プラズマ応用科学会研究講演会プロシーディング Vol.16 March 107-110, 2007
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1010000781940946202
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- Article Type
- journal article
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- Data Source
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- KAKEN