電子デバイス微細接合部の超音波評価
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- 燈明 泰成
- 東北大学
Bibliographic Information
- Title
- 電子デバイス微細接合部の超音波評価
- Author
- 燈明 泰成, (坂 真澄)
Journal
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- 日本機械学会2005年度年次大会講演論文集 No.05-1
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日本機械学会2005年度年次大会講演論文集 No.05-1 265-266, 2005
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1010000781950750851
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- Article Type
- journal article
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- Data Source
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- KAKEN