プラズマCVDにおけるカーボンナノチューブ成長モード圧力依存性

書誌事項

タイトル
プラズマCVDにおけるカーボンナノチューブ成長モード圧力依存性
著者
野崎智洋, 唐津拓也, 大西空摩, 岡崎健

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詳細情報

  • CRID
    1010000782035038089
  • 資料種別
    journal article
  • データソース種別
    • KAKEN

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