プラズマCVDにおけるカーボンナノチューブ成長モード圧力依存性
書誌事項
- タイトル
- プラズマCVDにおけるカーボンナノチューブ成長モード圧力依存性
- 著者
- 野崎智洋, 唐津拓也, 大西空摩, 岡崎健
収録刊行物
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- 日本機械学会論文集B編 75(756)
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日本機械学会論文集B編 75(756) 1662-1668, 2009
日本機械学会論文集B編 75(756) 1662-1668, 2009