Influence of sputtering parameters on the crystallinity and crystal orientation of AIN layers deposited by RF sputtering using the AIN target

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タイトル
Influence of sputtering parameters on the crystallinity and crystal orientation of AIN layers deposited by RF sputtering using the AIN target
著者
Z.Vashaei

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詳細情報

  • CRID
    1010000782053706639
  • 資料種別
    journal article
  • データソース種別
    • KAKEN

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