Micropatterning and crystallization of sol-gel-derived dielectric film by laser direct writing
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- 渡辺 明
- 東北大学
書誌事項
- タイトル
- Micropatterning and crystallization of sol-gel-derived dielectric film by laser direct writing
- 著者
- Akira Watanabe
収録刊行物
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- Proc.SPIE
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Proc.SPIE 585(7585N1) 1-8, 2010