Structural and Electrical Properties of Mg_2Si Thin Films Fabricated by Radio-Frequency Magnetron Sputtering Deposition

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タイトル
Structural and Electrical Properties of Mg_2Si Thin Films Fabricated by Radio-Frequency Magnetron Sputtering Deposition
著者
J. Tani and H. Kido

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詳細情報

  • CRID
    1010000782121799044
  • 資料種別
    journal article
  • データソース種別
    • KAKEN

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