Control of Nano-structure of4けんAssisted Glancing Angle Deposition
書誌事項
- タイトル
- Control of Nano-structure of4けんAssisted Glancing Angle Deposition
- 著者
- Yoichi Hoshi, Yoiji Yasuda, and Naoto Kitahara
収録刊行物
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- J. J. Appl. Phys
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J. J. Appl. Phys Vol.52 110124-, 2013