極薄SOI膜のゼーベック係数制御とナノ構造熱電特性測定技術の構築
書誌事項
- タイトル
- 極薄SOI膜のゼーベック係数制御とナノ構造熱電特性測定技術の構築
- 著者
- 池田浩也,鈴木悠平,三輪一聡,ファイズ・サレ
収録刊行物
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- 信学技報
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信学技報 ED2013-137, SDM2013-152 31-35, 2014
信学技報 ED2013-137, SDM2013-152 31-35, 2014