CuTi合金スパッタ薄膜の機械的特性及び電気抵抗率に及ぼす 時効の効果
書誌事項
- タイトル
- CuTi合金スパッタ薄膜の機械的特性及び電気抵抗率に及ぼす 時効の効果
- 著者
- 桜井淳平, 秦 誠一, 下河辺明
収録刊行物
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- 日本金属学会講演概要
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日本金属学会講演概要 541-, 2003
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詳細情報
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- CRID
- 1010282256778087556
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- 資料種別
- journal article
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- データソース種別
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- KAKEN