Pendio epitaxial growth of 3C-SiC on Si substrates
書誌事項
- タイトル
- Pendio epitaxial growth of 3C-SiC on Si substrates
- 著者
- A.Shoji, M.Nakamura, K.Mitikami, T.Isshiki, S.Ohshima, S.Nishino
収録刊行物
-
- Materials Science Forum 483-485
-
Materials Science Forum 483-485 221-224, 2005