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分光エリプソメトリによるHfO_2薄膜成長過程のその場観察:第一原理計算との比較

Bibliographic Information

Title
分光エリプソメトリによるHfO_2薄膜成長過程のその場観察:第一原理計算との比較
Author
鄭 仰東

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Details

  • CRID
    1010282256867960072
  • Article Type
    journal article
  • Data Source
    • KAKEN

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