Plasma etching of high-κ and metal gate materials
書誌事項
- タイトル
- Plasma etching of high-κ and metal gate materials
- 著者
- K.Nakamura, T.Kitagawa, K.Osari, K.Takahashi, K.Ono
収録刊行物
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- Vacuum Vol.80,No.7
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Vacuum Vol.80,No.7 761-767, 2006