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Precise atomic force microscopy by suppression of spurious vibration of ferroelectric material and devices

書誌事項

タイトル
Precise atomic force microscopy by suppression of spurious vibration of ferroelectric material and devices
著者
Toshihiro Tsuji, Kentaro Kobari, Seishiro Ide, Kazushi Ymanaka

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詳細情報

  • CRID
    1010282256918480140
  • 資料種別
    journal article
  • データソース種別
    • KAKEN

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