熱尖端流によって駆動される真空ポンプ内の希薄気流の数値解析

  • 杉元 宏
    京都大学工学研究科航空宇宙工学専攻

書誌事項

タイトル別名
  • Numerical Analysis of the Rarefied Flow in a Vacuum Pump Driven by Thermal Edge Flow
  • ネツ センタンリュウ ニ ヨッテ クドウ サレル シンクウ ポンプ ナイ ノ キハク キリュウ ノ スウチ カイセキ

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抄録

  Steady gas flows in a vacuum pump driven by thermal edge flow, which is proposed in Rarefied Gas Dynamics, AIP, New York, 138-141 (2002), are investigated numerically for various Knudsen numbers by the direct simulation Monte Carlo (DSMC) method based on the Boltzmann equation for a hard-sphere gas. The data of the maximum mass flow rate, energy consumption rate, and the maximum compression ratio of the pump is presented with some additional results on the effect of geometry and temperature ratio in the pump unit.<br>

収録刊行物

  • 真空

    真空 49 (8), 481-487, 2006

    一般社団法人 日本真空学会

被引用文献 (1)*注記

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参考文献 (18)*注記

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