Evaluation of excess In during metal organic vapor-phase epitaxy growth of InGaN by monitoring via in situ laser scattering

書誌事項

タイトル
Evaluation of excess In during metal organic vapor-phase epitaxy growth of InGaN by monitoring via in situ laser scattering
著者
Tetsuya Yamamoto, Akira Tamura, Shigeyoshi Usami, Tadashi Mitsunari, Kentaro Nagamatsu, Shugo Nitta, Yoshio Honda, and Hiroshi Amano

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詳細情報

  • CRID
    1010282257210267524
  • 資料種別
    journal article
  • データソース種別
    • KAKEN

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