X-ray photoelectron spectroscopy study of dielectric constant for Si compounds
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- 廣瀬 和之
- 独立行政法人宇宙航空研究開発機構
書誌事項
- タイトル
- X-ray photoelectron spectroscopy study of dielectric constant for Si compounds
- 著者
- 廣瀬和之
収録刊行物
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- Applied Physics Letters 89
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Applied Physics Letters 89 2006
