低速電子誘起反応とトンネル反応を利用したシリコン半導体薄膜の極低温合成
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- SATO Tetsuya
- University of Yamanashi
Bibliographic Information
- Title
- 低速電子誘起反応とトンネル反応を利用したシリコン半導体薄膜の極低温合成
- Author
- 佐藤哲也
Journal
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- 山梨大学機器分析センター年報 vol.5
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山梨大学機器分析センター年報 vol.5 11-18, 2006
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1010282257428895360
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- Article Type
- journal article
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- Data Source
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- KAKEN