顕微ラマン断層イメージングによるワイドバンドギャップ半導体ウエハ加工変質層観測,

書誌事項

タイトル
顕微ラマン断層イメージングによるワイドバンドギャップ半導体ウエハ加工変質層観測,
著者
小貫哲平，柴教一郎，黒田隼乃介，茂垣有亮，尾嶌裕隆，清水淳，周立波

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1010302693962237312
  • 資料種別
    journal article
  • データソース種別
    • KAKEN

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