「マイクロ・ナノプラズマ技術とその産業応用」第4章 低圧環境下でのマイクロプラズマの生成と製膜への応用
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- FUJIYAMA Hiroshi
- Nagasaki University, Graduate School of Science and Technology, Professor
Bibliographic Information
- Title
- "「マイクロ・ナノプラズマ技術とその産業応用」第4章 低圧環境下でのマイクロプラズマの生成と製膜への応用"
- Author
- 藤山 寛
- Publisher
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- シーエムシー出版
- Pagination
- 18
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Details
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- CRID
- 1020000781874289024
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- Title Language Code
- ja
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- Data Source
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- KAKEN