「マイクロ・ナノプラズマ技術とその産業応用」第4章 低圧環境下でのマイクロプラズマの生成と製膜への応用

書誌事項

タイトル
"「マイクロ・ナノプラズマ技術とその産業応用」第4章 低圧環境下でのマイクロプラズマの生成と製膜への応用"
著者
藤山 寛
出版者
  • シーエムシー出版
ページ数
18

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1020000781874289024
  • タイトル言語コード
    ja
  • データソース種別
    • KAKEN
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