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「マイクロ・ナノプラズマ技術とその産業応用」第4章 低圧環境下でのマイクロプラズマの生成と製膜への応用

  • FUJIYAMA Hiroshi
    Nagasaki University, Graduate School of Science and Technology, Professor

Bibliographic Information

Title
"「マイクロ・ナノプラズマ技術とその産業応用」第4章 低圧環境下でのマイクロプラズマの生成と製膜への応用"
Author
藤山 寛
Publisher
  • シーエムシー出版
Pagination
18

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Details

  • CRID
    1020000781874289024
  • Title Language Code
    ja
  • Data Source
    • KAKEN
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