「マイクロ・ナノプラズマ技術とその産業応用」第4章 低圧環境下でのマイクロプラズマの生成と製膜への応用
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- 藤山 寛
- 長崎大学
書誌事項
- タイトル
- "「マイクロ・ナノプラズマ技術とその産業応用」第4章 低圧環境下でのマイクロプラズマの生成と製膜への応用"
- 著者
- 藤山 寛
- 出版者
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- シーエムシー出版
- ページ数
- 18
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1020000781874289024
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- タイトル言語コード
- ja
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- データソース種別
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- KAKEN