高周波半導体材料・デバイスの新展開、監修:佐野芳明、奥村次徳、第2章 III族窒化物半導体のMOVPE技術、pp.80-86

Bibliographic Information

Title
"高周波半導体材料・デバイスの新展開、監修:佐野芳明、奥村次徳、第2章 III族窒化物半導体のMOVPE技術、pp.80-86"
Author
天野 浩
Publisher
  • シーエムシー出版

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Details

  • CRID
    1020000781977677952
  • Title Language Code
    ja
  • Data Source
    • KAKEN
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