高周波半導体材料・デバイスの新展開、監修:佐野芳明、奥村次徳、第2章 III族窒化物半導体のMOVPE技術、pp.80-86
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- 天野 浩
- 名城大学
書誌事項
- タイトル
- "高周波半導体材料・デバイスの新展開、監修:佐野芳明、奥村次徳、第2章 III族窒化物半導体のMOVPE技術、pp.80-86"
- 著者
- 天野 浩
- 出版者
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- シーエムシー出版
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1020000781977677952
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- タイトル言語コード
- ja
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- データソース種別
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- KAKEN