セラミックス製造プロセス、応用技術大全集:スパッタリング法による圧電薄膜の作製と評価

Bibliographic Information

Title
"セラミックス製造プロセス、応用技術大全集:スパッタリング法による圧電薄膜の作製と評価"
Author
脇谷 尚樹、鈴木 久男、篠崎 和夫
Publisher
  • 技術情報協会
Pagination
10

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1020282257442986497
  • Title Language Code
    ja
  • Data Source
    • KAKEN
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