Mechanism elucidation of spatio-temporal structure formation of sheath fluctuation using optically trapped fine particles in plasmas
About this project
- Japan Grant Number
- JP20H00142
- Funding Program
- Grants-in-Aid for Scientific Research
- Funding organization
- Japan Society for the Promotion of Science
- Project/Area Number
- 20H00142
- Research Category
- Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
- Allocation Type
-
- Single-year Grants
- Review Section / Research Field
-
- Medium-sized Section 14:Plasma science and related fields
- Research Institution
-
- Kyushu University
- Project Period (FY)
- 2020-04-01 〜 2024-03-31
- Project Status
- Completed
- Budget Amount*help
- 45,110,000 Yen (Direct Cost: 34,700,000 Yen Indirect Cost: 10,410,000 Yen)
Research Abstract
プラズマプロセスで形成するナノ構造揺らぎの抑制が、３次元集積回路の超高層化における最重要課題である。本研究では、超高層３次元集積回路の実現に最も重要なエッチング形状揺らぎとプラズマ揺らぎの関係に焦点を当てる。高アスペクト比エッチングでは、イオンの指向性揺らぎが問題である。イオンの運動エネルギーの異方性に関係する微弱な電場揺らぎは従来の電場計測法では検知できない。本研究では、光捕捉微粒子を用いた超高感電場計測法を用いて、シース電場構造の時空間揺らぎの形成機構を解明する。プラズマ・基板間のシース電場の時空間構造揺らぎを実測するとともに、その発生原因を同定する。
Keywords
Details 詳細情報について
-
- CRID
- 1040003825717515904
-
- Text Lang
- ja
-
- Data Source
-
- KAKEN