プラズマ中光捕捉微粒子を用いたシース電場の時空間構造揺らぎ形成機構の解明
研究課題情報
- 体系的番号
- JP20H00142
- 助成事業
- 科学研究費助成事業
- 資金配分機関情報
- 日本学術振興会(JSPS)
- 研究課題/領域番号
- 20H00142
- 研究種目
- 基盤研究(A)
- 配分区分
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- 補助金
- 審査区分/研究分野
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- 中区分14:プラズマ学およびその関連分野
- 研究機関
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- 九州大学
- 研究期間 (年度)
- 2020-04-01 〜 2024-03-31
- 研究課題ステータス
- 交付
- 配分額*注記
- 45,110,000 円 (直接経費: 34,700,000 円 間接経費: 10,410,000 円)
研究概要
プラズマプロセスで形成するナノ構造揺らぎの抑制が、３次元集積回路の超高層化における最重要課題である。本研究では、超高層３次元集積回路の実現に最も重要なエッチング形状揺らぎとプラズマ揺らぎの関係に焦点を当てる。高アスペクト比エッチングでは、イオンの指向性揺らぎが問題である。イオンの運動エネルギーの異方性に関係する微弱な電場揺らぎは従来の電場計測法では検知できない。本研究では、光捕捉微粒子を用いた超高感電場計測法を用いて、シース電場構造の時空間揺らぎの形成機構を解明する。プラズマ・基板間のシース電場の時空間構造揺らぎを実測するとともに、その発生原因を同定する。