Innovative planar thermal plasma jet generated by diode-rectified AC arc for rapid surface treatment
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- Tanaka Manabu
- Principal Investigator
- 九州大学
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- 渡辺 隆行
- Co-Investigator
- 九州大学
About this project
- Japan Grant Number
- JP19K03808
- Funding Program
- Grants-in-Aid for Scientific Research
- Funding organization
- Japan Society for the Promotion of Science
- Project/Area Number
- 19K03808
- Research Category
- Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
- Allocation Type
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- Multi-year Fund
- Review Section / Research Field
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- Basic Section 14030:Applied plasma science-related
- Research Institution
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- Kyushu University
- Project Period (FY)
- 2019-04-01 〜 2022-03-31
- Project Status
- Completed
- Budget Amount*help
- 4,420,000 Yen (Direct Cost: 3,400,000 Yen Indirect Cost: 1,020,000 Yen)
Research Abstract
革新的な長尺熱プラズマ場を構築し，基板表面の大面積処理技術を確立することを目的とする．熱プラズマは，1万度を超える高温などの特長を有するため，様々な材料プロセッシングへの応用が期待されている．しかし，従来の熱プラズマ発生手法は，数mmから数cm程度の小さな領域にしか発生できない点が問題であった． そこで本研究では，数百A級の電流をミリ秒オーダーで整流することで，新規な交流アーク発生手法を確立し，メートル級の長尺熱プラズマ流を得る．それにより，高速の大面積処理(酸化，窒化，ナノ結晶堆積)技術を確立する．
Keywords
Details 詳細情報について
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- CRID
- 1040282256993935488
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- Text Lang
- ja
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- Data Source
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- KAKEN