交流アークを用いた革新的長尺熱プラズマ流による大面積高速処理技術
研究課題情報
- 体系的番号
- JP19K03808
- 助成事業
- 科学研究費助成事業
- 資金配分機関情報
- 日本学術振興会(JSPS)
- 研究課題/領域番号
- 19K03808
- 研究種目
- 基盤研究(C)
- 配分区分
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- 基金
- 審査区分/研究分野
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- 小区分14030:プラズマ応用科学関連
- 研究機関
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- 九州大学
- 研究期間 (年度)
- 2019-04-01 〜 2022-03-31
- 研究課題ステータス
- 完了
- 配分額*注記
- 4,420,000 円 (直接経費: 3,400,000 円 間接経費: 1,020,000 円)
研究概要
革新的な長尺熱プラズマ場を構築し，基板表面の大面積処理技術を確立することを目的とする．熱プラズマは，1万度を超える高温などの特長を有するため，様々な材料プロセッシングへの応用が期待されている．しかし，従来の熱プラズマ発生手法は，数mmから数cm程度の小さな領域にしか発生できない点が問題であった． そこで本研究では，数百A級の電流をミリ秒オーダーで整流することで，新規な交流アーク発生手法を確立し，メートル級の長尺熱プラズマ流を得る．それにより，高速の大面積処理(酸化，窒化，ナノ結晶堆積)技術を確立する．