位置と測定フレームの同時測定による大型三次元ステージの性能向上に関する研究
研究課題情報
- 体系的番号
- JP24560305 (JGN)
- 助成事業
- 科学研究費助成事業
- 資金配分機関情報
- 日本学術振興会(JSPS)
科研費情報
- 研究課題/領域番号
- 24560305
- 研究種目
- 基盤研究(C)
- 配分区分
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- 基金
- 審査区分/研究分野
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- 理工系 > 工学 > 機械工学 > 知能機械学・機械システム
- 研究機関
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- 東京電機大学
- 研究期間 (年度)
- 2012-04-01 〜 2015-03-31
- 研究課題ステータス
- 完了
- 配分額*注記
- 5,330,000 円 (直接経費: 4,100,000 円 間接経費: 1,230,000 円)
研究概要
直交2軸をもつステージのそれぞれの軸に平面鏡を参照鏡として配置し，軸の形状と参照鏡の形状を含んだ変位信号を直交する2方向からレーザー干渉測長器により取得した．これにより，軸の形状偏差及び参照鏡の形状誤差がなかったならば，ステージの位置を測定することが可能となる．軸の形状偏差及び参照鏡の形状誤差を測定するために，ステージの位置を変えながらレーザー干渉測長器から変位信号を取得した．レーザー干渉測長器から得られた変位信号から，直交2軸の運動精度及び平面鏡の形状誤差を分離した． 上の成果に，1軸を追加し3方向からの軸の運動精度及び平面鏡の形状誤差を分離した．
