細穴内面プラズマ表面加工のスマートプロセス化
研究課題情報
- 体系的番号
- JP23K22659
- 助成事業
- 科学研究費助成事業
- 資金配分機関情報
- 日本学術振興会(JSPS)
- 研究課題/領域番号
- 23K22659
- 研究種目
- 基盤研究(B)
- 配分区分
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- 基金
- 補助金
- 審査区分/研究分野
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- 小区分18040:機械要素およびトライボロジー関連
- 研究機関
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- 岐阜大学
- 研究期間 (年度)
- 2022-04-01 〜 2026-03-31
- 研究課題ステータス
- 交付
- 配分額*注記
- 17,420,000 円 (直接経費: 13,400,000 円 間接経費: 4,020,000 円)
研究概要
細穴内面のプラズマ表面加工を対象として，①ガス枯渇による不均一分布を回避するためのパルスプラズマのON時間とOFF時間が，高速度カメラによる発光観察に基づいて自動決定されること，②膜質最適化のために選定される他の実験パラメータは，機械学習による予測モデルを使うことで効率的に決定されること，を実証する．また，そのようなアルゴリズムを備えたスマートな細穴内面プラズマ表面加工装置を具現化する．
詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1040862776832184192
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- KAKEN