Deep-ultraviolet micro-Raman investigation of surface defects in a 4H-SiC homoepitaxially grown film

詳細情報 詳細情報について

• CRID

  1050001201935174272

• NII論文ID

  120000904922

• NII書誌ID

  AA00543431

• ISSN

  00036951

• HANDLE

  2433/24190

• 本文言語コード

  en

• 資料種別

  journal article

• データソース種別

  • IRDB
  • CiNii Articles