書誌事項
- タイトル別名
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- Surface Modification of Glass Substrate by Ion Beam Irradiation of Ionic Liquid BMIM-PF_6
- イオン エキタイ BMIM-PF ₆ イオンビーム ショウシャ ニ ヨル ガラス キバン ノ ヒョウメン カイシツ
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抄録
イオン液体は常温で液体のイオン性化合物であり, 1数百mS/cm 程度の高い導電性を有し, 蒸気圧は極めて低いため, 近年注目されている溶媒材料である.本研究では炭素チップを用いたイオン液体イオン源を開発し, イオン液体 BMIM-PF_6 イオンビーム照射によるホウケイ酸ガラス基板の表面改質の可能性を検討した.その結果, 加速電圧±4 kV, 照射量1×10^15ions/cm^2にて, ガラス基板表面の算術平均粗さが低下することを見い出した.
収録刊行物
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- 電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス
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電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス 112 (337), 25-30, 2012-11
一般社団法人 電子情報通信学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1050001335805083520
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- NII論文ID
- 120005540638
- 110009667298
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- NII書誌ID
- AN10013254
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- ISSN
- 09135685
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- HANDLE
- 2433/193919
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- NDL書誌ID
- 024197164
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- 本文言語コード
- ja
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- 資料種別
- journal article
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- データソース種別
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- IRDB
- NDL
- CiNii Articles
- KAKEN