ウェハボンディングによるGe/Siヘテロ接合形成とフォトダイオード特性

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  • ウェハ ボンディング ニ ヨル Ge Si ヘテロ セツゴウ ケイセイ ト フォトダイオード トクセイ
  • Properties of Ge/Si Photodiodes having Heterojunction fabricated by Wafer Bonding

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