書誌事項
- タイトル別名
-
- The Growth of ZnO Films by Metalorganic Chemical Vapor Deposition
- ユウキ キンゾク キソウ セイチョウホウ ニヨル ZNO ハクマク ノ セイチョウ
この論文をさがす
抄録
Zn0 films have been grown by photo−assisted metalorganic chemical vapor deposition with the use of dimethylzinc and diethylether as source materials. The reaction and the decomposition of source materials were observed by in situ measurements of ultraviolet photo-absorption spectra. Specula surface was obtained at the growth temperature of 400～480℃.
収録刊行物
-
- 島根大学総合理工学部紀要. シリーズA
-
島根大学総合理工学部紀要. シリーズA 35 107-112, 2001-12-24
島根大学総合理工学部
- Tweet
詳細情報 詳細情報について
-
- CRID
- 1050845763414131840
-
- NII論文ID
- 110006939800
-
- NII書誌ID
- AA11157087
-
- ISSN
- 13427113
-
- NDL書誌ID
- 6251442
-
- 本文言語コード
- ja
-
- 資料種別
- departmental bulletin paper
-
- データソース種別
-
- IRDB
- NDL
- CiNii Articles