シリコン結晶中の窒素の状態変化と濃度測定法の研究
CiNii
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書誌事項
- タイトル
- "シリコン結晶中の窒素の状態変化と濃度測定法の研究"
- 責任表示
- 研究代表者 井上直久
- 出版者
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- 井上直久
- 出版年月
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- 2006.5
- 書籍サイズ
- 30cm
- タイトル別名
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- シリコン ケッショウチュウ ノ チッソ ノ ジョウタイ ヘンカ ト ノウド ソクテイホウ ノ ケンキュウ
- 平成16年度〜平成17年度科学研究費補助金(基盤研究(C))研究成果報告書
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注記
[課題番号]: 16560014
研究分担者:桝本和義
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000793661853952
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- NII書誌ID
- BA84350552
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- [堺]
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- データソース種別
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- CiNii Books
