シリコン結晶中の窒素の状態変化と濃度測定法の研究

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書誌事項

タイトル
"シリコン結晶中の窒素の状態変化と濃度測定法の研究"
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研究代表者 井上直久
出版者
  • 井上直久
出版年月
  • 2006.5
書籍サイズ
30cm
タイトル別名
  • シリコン ケッショウチュウ ノ チッソ ノ ジョウタイ ヘンカ ト ノウド ソクテイホウ ノ ケンキュウ
  • 平成16年度〜平成17年度科学研究費補助金(基盤研究(C))研究成果報告書

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注記

[課題番号]: 16560014

研究分担者:桝本和義

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1130000793661853952
  • NII書誌ID
    BA84350552
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    ja
  • 出版地
    • [堺]
  • データソース種別
    • CiNii Books
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