Emerging lithographic technologies III : 15-17 March 1999, Santa Clara, California
書誌事項
- タイトル
- "Emerging lithographic technologies III : 15-17 March 1999, Santa Clara, California"
- 責任表示
- Yuli Vladimirsky, chair/editor ; sponsored and published by SPIE--the International Society for Optical Engineering ; cooperating organization, SEMI--Semiconductor Equipment and Materials International
- 出版者
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- SPIE
- 出版年月
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- c1999
- 書籍サイズ
- 28 cm
- シリーズ名/番号
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- [v. 1]
- [v. 2]
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注記
Includes bibliographical references and author index
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000793671134592
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- NII書誌ID
- BA60526097
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- ISBN
- 0819431508
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- LCCN
- 00268968
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- Web Site
- https://lccn.loc.gov/00268968
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- us
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Bellingham, Wash.
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- 分類
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- LCC: TK7874
- DC21: 621.3815/31
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- データソース種別
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- CiNii Books