赤外光弾性法を用いた半導体結晶中の格子欠陥内部応力その場観察法の開発

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Bibliographic Information

Title
"赤外光弾性法を用いた半導体結晶中の格子欠陥内部応力その場観察法の開発"
Statement of Responsibility
研究代表者東田賢二
Publisher
  • [九州大学]
Publication Year
  • 2001.3
Book size
30cm
Other Title
  • セイキガイコウ ダンセイホウ オ モチイタ ハンドウタイ ケッショウチュウ ノ コウシ ケッカン ナイブ オウリョク ソノバ カンサツホウ ノ カイハツ
  • 平成11年度-平成12年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書(課題番号11555162)

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1130000793741545984
  • NII Book ID
    BA53178773
  • Text Lang
    ja
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    ja
  • Place of Publication
    • [福岡]
  • Data Source
    • CiNii Books
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