速度可変シャッターを用いた軟X線多層膜の精密膜厚分布制御と非球面形状創成への応用

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Bibliographic Information

Title
"速度可変シャッターを用いた軟X線多層膜の精密膜厚分布制御と非球面形状創成への応用"
Statement of Responsibility
羽多野忠研究代表
Publisher
  • [羽多野忠]
Publication Year
  • 2005.3
Book size
30cm
Other Title
  • ソクド カヘン シャッター オ モチイタ ナンXセン タソウマク ノ セイミツ マクアツ ブンプ セイギョ ト ヒキュウメン ケイジョウ ソウセイ エノ オウヨウ
  • 平成15年度～平成16年度科学研究費補助金(基盤研究(C)(2))研究成果報告書(課題番号15560016)

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1130000793821014528
  • NII Book ID
    BB1077064X
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    ja
  • Place of Publication
    • [仙台]
  • Data Source
    • CiNii Books
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