書誌事項
- タイトル
- "Semiconductor microlithography VI, March 30-31, 1981, San Jose, California"
- 責任表示
- Jim Dey
- 出版者
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- SPIE, the International Society for Optical Engineering
- 出版年月
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- c1981
- 書籍サイズ
- 28 cm
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注記
Includes bibliographical references and indexes
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000793836024064
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- NII書誌ID
- BA23957158
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- ISBN
- 0892523085
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- LCCN
- 81051405
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- Web Site
- https://lccn.loc.gov/81051405
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- us
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Bellingham, Wash.
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- 分類
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- LCC: TK7871.85
- DC19: 621.381/71
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- 件名
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- データソース種別
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- CiNii Books