マイクロ波-レーザ計測技術の開発とシリコンウェーハの局所的導電率の非接触計測
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書誌事項
- タイトル
- "マイクロ波-レーザ計測技術の開発とシリコンウェーハの局所的導電率の非接触計測"
- 責任表示
- 研究代表者 巨陽
- 出版者
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- [巨陽]
- 出版年月
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- 2003.3
- 書籍サイズ
- 30cm
- タイトル別名
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- マイクロハ レーザ ケイソク ギジュツ ノ カイハツ ト シリコンウェーハ ノ キョクショテキ ドウデンリツ ノ ヒセッショク ケイソク
- 平成13年度～平成14年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書
- Development of a microwave-Laser measurement technique and contactless measurement of conductivity of silicon wafer in an infinitesimal area
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注記
課題番号: 13555192
研究代表者 巨陽(東北大学大学院工学研究科 助手)
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000793840968960
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- NII書誌ID
- BB10405655
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- [仙台]
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- データソース種別
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- CiNii Books