イオン照射によるスパッタ薄膜中の残留応力低減
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書誌事項
- タイトル
- "イオン照射によるスパッタ薄膜中の残留応力低減"
- 責任表示
- 研究者代表 Nowak Roman
- 出版者
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- [Nowak Roman]
- 出版年月
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- 2000.3
- 書籍サイズ
- 30cm
- タイトル別名
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- イオン ショウシャ ニヨル スパッタ ハクマク チュウ ノ ザンリュウ オウリョク テイゲン
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注記
課題番号: 10650091
研究代表者: Nowak Roman(広島大学工学部助教授)
研究分担者: 吉田総仁, 岡田達夫
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000793916218112
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- NII書誌ID
- BB29050555
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- [東広島]
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- データソース種別
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- CiNii Books