ULSI process integration 5
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書誌事項
- タイトル
- "ULSI process integration 5"
- 責任表示
- editors, C.L. Claeys ... [et al.]
- 出版者
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- Electrochemical Society
- 出版年月
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- c2007
- 書籍サイズ
- 23 cm
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注記
Includes bibliographical references and index
Papers presented at the 5th Symposium on ULSI Process Integration at the 212th Meeting of the Electrochemical Society, Washington D.C., October 7-12, 2007
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000794025535616
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- NII書誌ID
- BA83423796
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- ISBN
- 9781566775724
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- us
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Pennington, N.J.
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- データソース種別
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- CiNii Books