ULSI process integration 5

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書誌事項

タイトル
"ULSI process integration 5"
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editors, C.L. Claeys ... [et al.]
出版者
  • Electrochemical Society
出版年月
  • c2007
書籍サイズ
23 cm

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注記

Includes bibliographical references and index

Papers presented at the 5th Symposium on ULSI Process Integration at the 212th Meeting of the Electrochemical Society, Washington D.C., October 7-12, 2007

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1130000794025535616
  • NII書誌ID
    BA83423796
  • ISBN
    9781566775724
  • 本文言語コード
    en
  • 出版国コード
    us
  • タイトル言語コード
    en
  • 出版地
    • Pennington, N.J.
  • データソース種別
    • CiNii Books
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